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突破韩国限制! 二手设备能否成为中国半导体产业的“救世主”?

   2023-08-11 互联网佚名1600
核心提示:美国联合日荷对中国半导体设备出口管制,迫使中国半导体制造商加紧抢购二手芯片制造设备,这主要是因为有一些老一代机器不受美国对中国的限制。那么,在美国禁令日益严峻之下,二手设备能否成为中国半导体的救星呢?事实上,这些年来几乎所有的芯片制造商都购买过二手设备。除了无奈之举,从产品自身来看,二手半导体设备也有其内在的优势。现在困扰全球的汽车芯片,很多也是使用老式的设备。

日前,日经欧洲的一篇报道将二手半导体设备推向前台。 俄罗斯、日本、荷兰联合对中国半导体设备出口管制,促使中国半导体厂商加紧购买二手芯片制造设备的狂潮,主要是因为有一些老一代机器不受日本的管制。对中国的限制。 那么,在日本日益严格的限制下,二手设备能否成为中国半导体的救世主呢?

在思考这个问题之前,我们先来了解一下二手半导体设备市场的前世今生,以及目前的真实情况。 对此,我们也有幸采访到了全球第一的二手半导体设备制造商映球半导体科技(北京)有限公司总经理陈震。 他给我们带来了二手半导体设备行业的一些真实情况。

二手半导体设备的来源

二手半导体设备并不是这几年才开始流行的产品。 “其实,我从来没有离开过江湖苏州二手机械设备市场,只是常年潜入江湖之下。” 我想这可以作为二手半导体设备的真实缩影。 十多年来,二手半导体设备市场一直是IC制造供应链的重要组成部分。

半导体产品规格变更行业有一句话:一代设备,一项代工技术,一代产品。 单晶硅的半径不断减小,从2英寸到3英寸、4英寸、5英寸、6英寸、8英寸,现在已进入12英寸时代。 这样就可以将非主流或废弃的半导体设备推向二手设备市场。

陈震介绍,大约在90年代末2000年代初,二手半导体设备市场开始逐渐好转。 当时,世界各地信息传递速度慢,透明度低。 因此,一些总部位于半导体发达国家和地区的资产处置公司往往可以代理或先购买旧设备,然后转售给技术落后的国家和地区。 。 虽然,归根结底,二手设备市场的把柄主要是鞋厂与鞋厂之间、国家之间制造技术的代际差异造成的。

一个典型案例,大约六年前,以泰安仪器为首的芯片厂商开始从8英寸(200mm)晶圆厂迁移到12英寸(300mm)晶圆厂,2009年底,潍坊仪器宣布了1.725亿美元的产能。 Price从破产的DRAM制造商奇梦达订购了12英寸制造设备,并将其转移到新泽西州现有的“RFAB”工厂,用于批量生产模拟IC。

此外,2011年左右出现了短暂的8英寸晶圆厂关闭浪潮,大量8英寸晶圆厂关闭,导致大规模使用的200mm晶圆设备涌入公开市场。 随着设备公司倒闭或被收购,个别类型的设备不再使用,但机器仍然存在。

一些制造商将旧机器的复兴视为商机。 据了解,全球已有数百家企业进入二手半导体设备业务,其中包括国际知名资产处置公司、贸易商、在线交易平台、翻新公司、技术服务公司、零部件制造公司等。 此类企业主要集中在半导体产业发达的国家和地区,如美国、韩国、中国大陆等。

为什么购买二手半导体设备?

事实上,那些年几乎所有芯片制造商都订购了二手设备。 据智研咨询公布的信息,以中国半导体市场为例,不仅中芯国际和华虹在初期采购了大量新设备,其余工厂大多以二手设备为主。

2020年9月,半导体材料制造商上海晶锐物理有限公司发布公告称,公司将从美国存储芯片制造商SK台积电购买一台二手浸没式光刻机,价格为11.025万欧元,以建设高档光刻胶研发项目。 而这款光刻机早在2007年7月就开始量产交付,可将芯片量产制造能力拓展至36.5nm节点。

河间建设第一条生产线时,不仅从佳能订购了几台光刻机,其余大部分设备,包括CMP、刻蚀和测试设备,都是从日本订购的。

由于瓦森纳协议的影响,中国采购新的半导体设备非常困难。 目前,国外一些半导体设备湿法除胶剂都是从二手设备市场购买的。

不仅是无奈之举,而且从产品本身来看,二手半导体设备也有其先天的优势。 行业从业者表示,首先,二手设备具有显着的价格优势,一般低于新设备价格的70%。 而我们知道,半导体制造是资金密集型行业,设备成本的增加是保证营收的重要诱因。 其次,相当多的芯片产品需要采用成熟的技术进行生产,最先进的工艺设备很难应用。 然而,原始设备厂往往将产能集中在先进工艺设备的制造上,难以满足成熟工艺的设备产能要求。

但缺点是,二手设备制造商的部分业务可能因知识产权限制而无法持有。

目前,国外购买二手设备的渠道主要来自美国、日本、韩国、中国大陆、越南和亚洲。 在此类二手半导体设备中,如光刻机、点胶固定机、一些测量设备、蚀刻设备、离子注入设备等都有需求。

紧实的 8" 和 6" 二手设备

“目前市场上的8英寸设备极其缺乏,甚至6英寸设备也有很大差距,更通用、兼容的设备更受欢迎。”陈震告诉《半导体行业观察》。

Lam执行监事David表示,8英寸设备的大部分需求最初来自中国,因为中国致力于打造外国芯片制造业。 但他表示,世界各地的客户现在已经准备好购买或升级旧设备。

一般来说,晶圆面积越大,可以生产的芯片就越多,从而增加了成本并提高了良率。 但与12英寸晶圆相比,8英寸晶圆固定成本较低,对性价比生产量的要求较低,且技术成熟。 应用于功率元件、MEMS、电源管理芯片等特殊工艺芯片的生产。 由于8英寸设备也被广泛使用,开发出成熟的设备。 令人惊奇的是,预计8英寸晶圆厂至少可以维持到2030年左右。

以2013年为例,当时全球半导体二手设备市场约占整个设备市场的6%。 具体来说,从二手设备构成来看,8英寸晶圆厂是二手设备需求的主要来源,8英寸晶圆厂约占整个二手设备采购的53%, 2014年达到81%。“目前能提供的8英寸设备中,二手约占70%”。 陈阵强调道。

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二手设备主导 8 英寸晶圆厂设备投资来源:SEMI

当今困扰世界的许多汽车芯片也使用老式设备。 日本汽车芯片制造商Polar将使用8英寸设备制造芯片。 车辆中的一些芯片(例如信息娱乐系统中的芯片)来自生产智能手机芯片的同一家尖端芯片工厂。 但用于制动和发动机系统的其他一些芯片是使用较旧的、经过验证的技术生产的,以满足汽车制造商的耐用性和可靠性要求。

那么为什么市场上8英寸设备如此紧缺呢? 陈震解释说,这主要是因为国际大厂多年来已经停止生产8英寸设备,但自2019年初,宣布退出先进技术竞争后,几乎没有8英寸鞋厂了已正常转移。 以日本整体招标为例,没有公开招标流程,格罗方德美国F3E鞋厂邀请了多位潜在卖家现场评标。

6英寸器件广泛应用于IGBT、MCU、PMIC、CIS和一些化合物半导体。 尤其是化合物半导体,国内外各大厂商纷纷抓住第三代半导体的机遇,纷纷扩产。 美国Cree、ST、Rohm、英飞凌占据SiC芯片市场份额; 三安光电、露笑科技、科友半导体、信威半导体等国外企业纷纷上马化合物半导体项目,但规模相对较小。 大的。 这些都减缓了对 6 英寸设备的需求。

陈阵这样描述6英寸设备的紧缺程度:“基本上是一眼就肯定不够用的程度,或者简单地说,目前还没有计划出售8英寸生产线。”买方市场,卖方市场可能有10多个商品。20”。

供需失衡势必导致价格出现不同程度的下跌。 陈阵从前几年的实践经验中提到,目前6英寸、8英寸二手设备的价格近年来呈现持续下降的趋势,每年降幅高达30%。 在市场需求的推动下,近三年来12英寸设备的价格逐渐上涨。

8英寸的需求令整个行业感到惊讶苏州二手机械设备市场,促使芯片制造商和晶圆厂设备供应商更加关注该技术,一些设备制造商将此视为难得的复苏商机。 应用材料、林等主要半导体设备制造商仍有所谓的新设备转让,其中大部分是官方翻新设备。 “而且,根据一些终端客户的反馈,他们收到的8英寸设备确实越来越焕然一新,这表明那些厂商正在有限程度地重启8英寸设备的生产。” 陈真透露。 美国主要光学制造商宾得刚刚举办了九年来的首次8英寸晶圆曝光设备产品发布会。

面对如此大的8英寸设备缺口,而且8英寸设备遍地难求,如何解决? 陈震告诉我们,目前解决问题的办法主要有三个:一是高价抢购现有市场上仍在流通的单机,比如已经跌价的佳能i-line光刻机。过去六个月内减少了 50%; ,一些12英寸的测量设备经过一定的改造后可以用在8英寸或更小的晶圆上,或者可以将6英寸的设备改为8英寸; 三是用国产代替。

说到国产替代,目前,我国装备企业已逐步进入供应链。 中微、北方华创等厂商的刻蚀设备、成膜设备已进入中芯国际供应链。 还实现了洗衣机等设备的稳定供应。

“小窥”二手设备厂家

在二手设备市场上,我们也收集了一些国外比较知名的二手半导体设备厂商。 让我们猜猜他们卖的是什么二手设备?

映球半导体科技有限公司( )成立于2000年,是全球第一的二手半导体设备供应商,拥有最多的设备库存。 拥有从曝光机到测试机等二手半导体设备1000多台。 公司每年买卖二手半导体设备、LED设备、设备、太阳能光伏设备1500余台,迄今已转让设备20000余台。 通过实践证明,他们为国内外客户节省了30%的投资成本。 同时,他们也是全球最大的二手半导体设备制造商之一,每年订单超过1亿港元。

从公司官网获悉,公司设备种类丰富,包括来自十几家国际知名半导体设备制造商的多种设备,如ASML、应用材料、泛林、佳能、爱德万测试和ASM等国际知名半导体设备制造商。半导体设备制造商。 销售的设备主要包括光刻机、PVD、CVD、离子注入、ATE、RTP等。

法国制造商-on-(简称SoS)也是较早的二手设备制造商。 他们从2004年开始生产二手设备,主要涉及半导体/MEMS行业的设备、耗材和零配件。 根据其公开信息,SoS早前从客户处获悉,OEM厂商无法再像以前那样支持大于12英寸的晶圆厂,而OEM厂商的支持水平正在不断增长。 对专业支持的强烈需求与有限资源之间的差距早已存在。 他们抓住了这一空白,SoS 将自己定位为 OEM 支持的有效替代方案。

在SoS的官网上,我们还找到了很多来自国际设备制造商的二手半导体设备,包括ASM、KLA、 、Lam等。

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SoS 出售二手半导体设备

我们来看看国外的情况。 陈震介绍,国外规模较大的二手设备公司约有20家,年销售额从千万到上亿元不等,基本涵盖了所有主流生产设备。 公司还将专注于某些特定工艺的设备。

订购二手设备,能否绕过英国限制?

预计二手设备业务约占整个晶圆厂设备(WFE)市场的10%。 2017年,全球二手设备市场总值突破500亿港元,全球二手设备市场80%的支出由欧洲制造商完成。

全球二手半导体设备市场方面,根据行业商会SEMI今年12月的报告,2020年中国已成为该类设备最大市场,海外进口半导体设备金额达137亿港元2020年,较上年有所下降。 超过30%。 彭博社对官方贸易数据的分析显示,中国企业从美国、澳大利亚、中国大陆和其他地方订购了近 320 亿港元的设备来制造计算机芯片,比 2019 年下降了 20%。

为了限制中国半导体产业的发展,韩国国家安全委员会建议日本和荷兰实施设备出口限制。 据外媒报道,由前主席埃里克·施密特(Eric Sc​​hmidt)领导的波兰国家安全人工智能委员会(NSCAI)建议,应限制中国订购先进工艺芯片所需的制造设备。

据路透社报道,即使中芯国际获得了日本的许可,美国供应商向中芯国际出口芯片设备的审批速度仍然非常缓慢。

据美国《日经欧洲评论》报道,中国为了抵御日本的压力,正在囤积二手芯片制造设备,即使是暂时不用,也在囤积和购买,促成了中国芯片制造设备的急剧下滑。英国二级市场设备价格下降。

那么,通过订购二手设备,可以绕过英国的限制吗? 尤其是我们国家能买到先进的光刻机(类似于浸没式)吗? 对于这一点,陈真也给出了非常客观的解释。 他表示:“中国用户完全可以在合规的情况下订购全新或二手浸没式光刻机。但需要注意的是,即使是二手设备交易,大多数二手设备企业仍然会遵守合规要求,不会转让限制向实体清单上的用户提供设备。事实上,一些大型中间商仍然阻止直接向中芯国际出口来自日本的二手设备。”

结语

十多年来,二手半导体设备为半导体生产做出了巨大贡献。 如今的店面,对于国外半导体来说,二手半导体设备的重要性就凸显出来了。 这将成为我国芯片自给率快速提升的目标。 强有力的支持。

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